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同步辐射光束线中部分相干光的传播研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2013
Authors:  孟祥雨
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X射线光学  部分相干光  互强度  相干长度  
基于高级硅刻蚀和硅氧化工艺的软X射线干涉光刻分束光栅的优化设计 期刊论文
核技术, 2008, 期号: 06
Authors:  朱伟忠;  吴衍青;  史沛熊;  郭智;  邰仁忠;  徐洪杰
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软x射线透射光栅  衍射效率  高级硅刻蚀  硅氧化工艺  严格耦合波方法  软x射线干涉光刻  
软X射线干涉光刻相关技术研究 学位论文
, 上海应用物理研究所: 中国科学院上海应用物理研究所, 2005
Authors:  朱伟忠
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软x射线金属型透射光栅  严格耦合波方法  电子束光刻  衍射效率  软x射线干涉光刻