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压力对热丝化学气相沉积的CH_4/H_2/Ar气氛中的纳米金刚石薄膜生长的影响(英文) 期刊论文
功能材料与器件学报, 2009, 期号: 4
Authors:  杨树敏;  贺周同;  朱德彰;  巩金龙;  周兴泰
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纳米金刚石薄膜  热丝化学气相沉积  压力  Ar浓度