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光学非接触检测精密狭缝重复精度的研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2010
Authors:  程琳
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采用柔性铰链结构的精密狭缝模型建立与分析 学位论文
, 上海应用物理研究所: 中国科学院上海应用物理研究所, 2009
Authors:  赵高峰
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柔性铰链  狭缝  有限元方法  
大型非球面轮廓检测技术的比对研究 学位论文
, 上海应用物理研究所: 中国科学院上海应用物理研究所, 2006
Authors:  曾丹华
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同步辐射  长程面形仪  非球面  干涉轮廓术  光学比对  相移干涉仪  相移算法