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应用于同步辐射光源的涡旋干泵综合性能测试平台设计 期刊论文
真空, 2017, 期号: 2, 页码: "14-18"
Authors:  黄化岩;  陈明;  刘俊男;  刘腾飞;  薛松
View  |  Adobe PDF(291Kb)  |  Favorite  |  View/Download:145/33  |  Submit date:2018/08/17
同步辐射光源  涡旋干泵  性能测试