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大面积10000线/毫米软X射线金属型透射光栅的设计、制作与检测 期刊论文
物理学报, 2008, 期号: 10
Authors:  朱伟忠;  吴衍青;  郭智;  朱效立;  马杰;  谢常青;  史沛熊;  周洪军;  霍同林;  邰仁忠;  徐洪杰
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软x射线金属型透射光栅  严格耦合波方法  衍射效率  软x射线干涉光刻  
基于高级硅刻蚀和硅氧化工艺的软X射线干涉光刻分束光栅的优化设计 期刊论文
核技术, 2008, 期号: 06
Authors:  朱伟忠;  吴衍青;  史沛熊;  郭智;  邰仁忠;  徐洪杰
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软x射线透射光栅  衍射效率  高级硅刻蚀  硅氧化工艺  严格耦合波方法  软x射线干涉光刻