CAS OpenIR

Browse/Search Results:  1-2 of 2 Help

Selected(0)Clear Items/Page:    Sort:
大面积10000线/毫米软X射线金属型透射光栅的设计、制作与检测 期刊论文
物理学报, 2008, 期号: 10
Authors:  朱伟忠;  吴衍青;  郭智;  朱效立;  马杰;  谢常青;  史沛熊;  周洪军;  霍同林;  邰仁忠;  徐洪杰
View  |  Adobe PDF(363Kb)  |  Favorite  |  View/Download:336/120  |  Submit date:2012/06/06
软x射线金属型透射光栅  严格耦合波方法  衍射效率  软x射线干涉光刻  
软X射线干涉光刻相关技术研究 学位论文
, 上海应用物理研究所: 中国科学院上海应用物理研究所, 2005
Authors:  朱伟忠
Adobe PDF(3265Kb)  |  Favorite  |  View/Download:326/0  |  Submit date:2012/04/11
软x射线金属型透射光栅  严格耦合波方法  电子束光刻  衍射效率  软x射线干涉光刻